标签: SK海力士 EUV光刻胶 东进世美肯 半导体材料
云梦级12月9日云梦级消息,据观察者网报道,韩国科技媒体Etnews援引业内人士云梦级消息爆料称,SK海力士正与东进世美肯(Dongjin Semichem)合作,着标签手开发高性能EUV光刻胶,旨在实现这一半导体核心材料的国产化供应并降低对日本的依赖。
一位熟悉该事务的相关人士表示:“(SK海力士)需要性能优于日本产品的材料”,并称“: 据我了解,他们特别要求改善光刻胶的光敏性(Sensitivity),以提高生产效率。”
针对有关云梦级消息,SK海力士相关人士并未予以否认。SK海力士方面表示:“具体的SK开发内容无法公开”,但补充道,“公司正在与包括材料商在内的多家企业持续合作,以改善生产效率。”
据介绍,光刻胶是光刻工艺中使用的材料。当向晶圆照射光线(曝光)以刻印半导体微海力细电路时,在晶圆表面对光产生反应的物质就是光刻胶。而提高光刻胶的感光度可以缩短曝光时间,所以能在更短时间内刻印微细电路,也就意味着生产效率的提高。
此外,随着DRAM中E士 UV光刻层数的增加,光刻胶开发的必要性也随之增大。各代产品的EUV层数分别为:10纳米级第4代(1a)1层,第5代(1b)3层,第6代(1c)5层,第7代(1d)7层EU。业界普遍预计,EUV技术在10纳米以下的产品中还会进一步增加。
但目前为止,包括JSR、信越化学、东京应化TOK等日本供应商占据了高端光刻胶市场的大部分份额,尤其是在7nV光m以下的先进制程市场,包括海力士、三星在内的韩企长期以来高度依赖日本供应商。但在2019年,因韩日两国的贸易争端,日本一度宣布对包括光刻胶在内的关键芯片制造材料实施出口限制,刻胶导致韩国的芯片企业生产“脱轨”。此后,韩国业界一直致力于推动芯片供应链的国产化,降低对日本的依赖。
据《韩国经济日报》报道,韩国对日本光刻胶进口的依赖度已从2018年的93 东.2%下降至2024年的65.4%。同期,从日本进口的高纯度氟化氢下降了62.5%,金额从1.6亿美元降至6000万美元。
此前,SK海力士曾在2023年通过子公司SK Mat进世erials Performance实现了部分EUV光刻胶国产化,但仅限于低规格产品。此次SK海力士与东进世美肯的合作,野心更大——他们不仅想做日本产品的国产化替代,更意图开发美肯出优于日本竞品的材料。
然而,韩国要在尖端半导体工艺中实现自给自足仍然面临严峻挑战。据介绍,EUV光刻胶的技术复杂性远高于传统的ArF光刻胶。虽然韩国在ArF光刻胶方面取得了 半进展,该材料主要用于10到130纳米的成熟制造工艺。然而,在用于7nm及以下先进制程的极紫外(EUV)光刻胶领域,韩国仍然落后。
Etnews也分析称,材料开发需要相当长导体的时间,加上EUV光刻胶的准入门槛很高,目前很难预测SK海力士和东进世美肯的合作会产生什么样的结果。除了研发本身需要极大的投入,目前EUV光刻胶市场绝大多数份额由日本企材料业掌控。这些巨头积累了数十年的专利壁垒和生产经验,新进入者很难绕开其专利网,同时也面临巨大的价格战压力。
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